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新物理气相沉积应用的孔板流量计流量控制

作者: 来源: 发布时间:2019-08-27 10:37:24
你知道阳极氧化和发蓝的一个问题吗?虽然它可以防止腐蚀,但它可以刮掉。大多数阳极氧化不会强化表面。镀铬是另一种选择,但铬-6是有毒的,仍然可以磨损,凹坑和剥落。真空沉积系统制造商Duralar希望使用物理气相沉积开发一种快速的类金刚石涂层工艺,这种工艺比任何一种都更硬,更耐用。它可用于防止金属部件的腐蚀,腐蚀和磨损。
 
假设,像Duralar一样,您是物理气相沉积创新者。只是为了让生活变得有趣,让我们假装你没有无限的时间,而且金钱不会在树上生长(!)。研发意味着测试,允许新的阻隔和反应气体配方。您需要改变流量比和气体 - 同时保持准确的流量,因此成功将是可重复的。您不能继续为每次测试购买新的真空流量孔板流量计,并且您无法承担重新校准每个新配方的停机时间。你得到了照片。
 
Duralar开始使用通用真空沉积系统,但六个内置热孔板流量计中没有一个针对其特殊气体四甲基硅烷(TMS)(汽化液体)进行校准。事实是,这些孔板流量计无法准确地更换气体,无需重新校准的停机时间。所以Duralar打电话给Alicat。虽然TMS不在我们的标准清单上,但通过一些工程设计,我们为它们提供了耐腐蚀流量孔板流量计,并为TMS定制了气体校准。
 
他们使用孔板流量计改造了他们的系统 - 它是一个替代品 - 他们现在可以确保他们的TMS流量的准确性将保持很高,无论是满量程流量还是低于满量程的0.5%。这是因为Alicat的气体选择不仅仅是单点的k因子偏移,而是基于NIST粘度表的完整性能曲线。展望未来,Duralar无需担心因工厂温度或压力变化而导致的不准确性,因为孔板流量计中的闭环传感器可补偿体积变化 - 与原始热孔板流量计不同。
 
不久,Duralar正在通过将腔室抽真空来生产涂层部件,在恰好适量的气体中流动,添加材料蒸汽并将其转化为与部件结合的等离子体。在物理气相沉积中,需要真空,因为化学物质在大气气体存在下不起作用。
一体化孔板流量计.jpg
接下来,他们想开发一种在管子和管道内沉积这种薄涂层的工艺。在管道内部涂层,可以减少磨损和腐蚀 - 非常适合在管道中流动研磨液,或保护步枪枪管内部免于生锈。该技术很巧妙:密封管的末端,管的内部成为真空室。需要的是,您需要能够改变窄管内产生等离子体的放电位置,以获得完整的涂层。因此,更多的原型设计,更多的实验和Alicat再次拯救。
 
通过使用MCS流量孔板流量计用于腐蚀性TMS和另外两个Alicat MC 孔板流量计,他们能够随意更换气体,从多达98种内置类型和20种用户可定制的混合物中进行选择 - 甚至更多的腐蚀- 孔板流量计。
 
然后,他们使用我们可下载的LabVIEW驱动程序来构建真空工艺步骤,从远程笔记本电脑控制MFC及其关闭电磁阀。在适当的时候,他们完善了这个过程,并开始建立涂层系统。现在,您可以为您的金属零件订购类似钻石的涂层 - 或者为其他人提供服务系统 - 真空镀膜比阳极氧化更耐用,同时比镀铬更快更硬。由于Alicat的流量孔板流量计适应性,物理气相沉积变得越来越好。
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